CP-910B-IDP.JPG
CP-910B_001

Máquina de polimento químico-mecânico

Fornecedor confiável de polimento mecânico químico de precisão de semicondutores.
Siemens PLC e tela sensível ao toque (4,3 "), motor TECO, garantem a qualidade do produto.
7 * 24-horas de orientação profissional on-line a qualquer momento.

Enviar inquérito

Introdução de Produto

LSTD é um fabricante confiável de máquinas de polimento químico-mecânico na China. Projetado para atender à demanda precisa de polimento químico-mecânico de wafers semicondutores, como Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC e assim por diante. As máquinas apresentam estabilidade dinâmica e aplicação personalizada. A LSTD se concentrou no polimento de wafers semicondutores por mais de 10 anos. Fornece soluções confiáveis de polimento de wafer de semicondutores para vários fabricantes de semicondutores em todo o mundo. Uma equipe de design profissional, equipe de P&D de processo e equipe de construção de máquinas, bem como instalações necessárias qualificadas fornecem uma garantia para a entrega bem-sucedida de equipamentos semicondutores.

Tipos de máquina de polimento químico-mecânico

Tipo Básico--- As placas de pressão da máquina do Tipo Básico acompanham a rotação da placa de polimento.

O tipo básico adota estrutura de resfriamento de placa de polimento de caminho único em labirinto para garantir efetivamente o

uniformidade de dissipação de calor e manutenção do formato da placa durante o processo de polimento, de forma a garantir a precisão do polimento em termos de ferragens. A utilização de cilindros de baixo atrito de grande porte especialmente projetados e fabricados pela LSTD garantem a resistência do processamento, bem como a precisão do processo.

Basic Type Chemical Mechanical Polishing Machine

Tipo CD --- As máquinas do tipo CD são acionadas em conjunto pela guia central.

Adicionando um conjunto de rolos acionados centralmente da placa de pressão que aciona quatro placas para girar durante o processo. Esta estrutura pode eliminar a diferença de velocidade das placas de pressão causada pelas diferentes características dos cilindros de ar e pelos diferentes atritos de polimento em cada cabeçote, de forma a garantir melhor a consistência dos resultados de polimento de cada cabeçote; E o processo de polimento é mais flexível.

CD Type Chemical Mechanical Polishing Machine

Tipo IDP--- A placa de pressão da máquina do tipo IDP é acionada individualmente pelo motor no conjunto da placa de pressão.

Para máquinas IDP de grande porte, o posicionamento e a troca de estações de placas cerâmicas podem ser realizados adicionando dispositivos de rolos-guia internos e externos, de modo a realizar a carga e descarga em uma estação. Também pode realizar a conexão de múltiplas máquinas integrando o manipulador para formar uma linha de produção automática.

IDP Type Chemical Mechanical Polishing Machine

Meio de polimento

A LSTD produz diferentes tipos de consumíveis: pó de polimento, pasta de polimento, almofada de polimento, placa de polimento. Existem vários tipos de consumíveis, como alumínio branco, carboneto de silício verde, diamante, etc. Portanto, você pode obter facilmente o meio de polimento mais adequado que corresponda ao seu tipo de chip.

polishing medium