Máquina de polimento químico-mecânico tipo básico
O tipo básico de máquinas CP pode atender à demanda de aplicação de polimento químico-mecânico na maioria das ocasiões. O equipamento adota uma estrutura de resfriamento de placa de polimento de caminho único em labirinto para garantir efetivamente a uniformidade da dissipação de calor e a manutenção do formato da placa durante o processo de polimento, de modo a garantir a precisão do polimento em termos de hardware. A utilização de cilindros de baixo atrito de grande porte especialmente projetados e fabricados pela LSTD garantem a resistência do processamento, bem como a precisão do processo.
Tipo e especificações | CP-380B(V*) | CP-460B(V) | CP-610B(V) | CP-810B(V) | CP-910B(V) | CP-1280B(V) | CP-1500B(V) |
Diâmetro da placa de polimento | 381 mm | 460 mm | 610mm | 812 mm | 914 mm | 1282 mm | 1500mm |
Diâmetro da placa de pressão | 139 mm | 150mm | 240mm | 304,8 mm | 360mm/355mm | 485 mm | 576 mm |
Nº da placa de pressão | 3 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 | 4 |
Placa de polimento RPM | 10 ~ 160 rpm | 10 ~ 160 rpm | 10 ~ 115 rpm | 10~87rpm | 10-80rpm | 10 ~ 64 rpm | 10-54rpm |
Pressão de polimento (máx.) | 100kg | 100kg | 140kg | 250kg | 320kg | 560kg | 760kg |
Potência do motor | 0,75 kW | 1,5 kW | 3 kW | 5,5 kW | 11 kW | 22 kW | 35 kW |
Fonte de energia | 3PH,380V,50Hz | ||||||
Dimensão | 950L 770W 1560H | 1100L 850W 1650H | 1350L 900W 1700H | 1600L 920W 1900H | 1800L 1262W 2120H | 2180L 1670W 2200H | 2800L 2020W 2500H |
Peso (aprox..) | 350kg | 650kg | 980kg | 1.800kg | 2.200kg | 7.000 kg | 8600kg |
Capacidade de carga de wafer | 2"-4 peças/cabeça 2"-3peças/cabeça(V) | 2"-5 peças/cabeça 2"-4peças/cabeça(V) | 2"-10 peças/cabeça 4"-3 peças/cabeça | 2"-14 peças/cabeça 4"-5 peças/cabeça 5"-3 peças/cabeça | 4"-7 peças/cabeça 5"-5 peças/cabeça 6"-3 peças/cabeça | 5"-8 peças/cabeça 6"-6 peças/cabeça 8"-3 peças/cabeça | 6"-8 peças/cabeça 8"-5 peças/cabeça |
*V representa mandril a vácuo
O tanque de fornecimento de pasta de polimento com função básica pode ser usado com máquinas CP do tipo básico, enquanto algum sistema profissional de gerenciamento de pasta também pode ser usado. LSTD desenvolveu uma série de sistemas de gerenciamento de pasta de polimento para realizar as funções de controle da pasta de polimento, como fornecimento, recirculação, filtragem, estabilização de temperatura, controle de PH, para garantir um processo de polimento estável.
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