Modelos de polimento

O modelo é para segurar wafers pela tensão do filme de água em vez de por cera, em comparação com a forma de segurar wafers por cera, o uso de modelos para segurar o wafer é de maior eficiência e menor custo de produção. O bolso dos gabaritos pode ser feito em vários formatos e profundidades para a fixação de peças específicas.

Para controlar a precisão da geometria dos wafers polidos, os modelos são frequentemente colados em uma placa de cerâmica com sua fita traseira PSA. Correspondendo aos materiais dos wafers e às características das pastas, diferentes tipos de filmes de suporte podem ser escolhidos. Para o polimento de wafer de Si, wafers de safira, recomenda-se o uso de filme de suporte de célula aberta, enquanto para o polimento de GaAs, InP, CZT etc., onde a pasta de polimento é mais corrosiva, recomenda-se filme de suporte de célula fechada.

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